| กระบวนการสร้างแบบจำลองอุปกรณ์ในงาน IC fabrication | |
| การสร้างแบบจำลองอุปกรณ์ (Device Simulation) ในงาน IC fabrication ต้องอาศัยโปรแกรมแบบจำลองเฉพาะทางเข้ามาช่วย ในการพัฒนาโดยโปรแกรมที่ใช้กันแพร่หลาย ได้แก่ โปรแกรมแบบจำลองกระบวนการสร้างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ (TSUPREM-4) และโปรแกรมแบบจำลองอุปกรณ์ (MEDICI) | |
 |
TSUPREM-4
(Process Simulation Program) เป็นโปรแกรมการจำลองแบบกระบวนการสร้างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำและไมโครชิพ
(TSUPREM-4) ใช้ทำแบบจำลองกระบวนการสร้าง อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำเช่น ไดโอด ทรานซิสเตอร์
ทำให้ทราบโครงสร้าง การแพร่และกระจายของสารเจือโดยรูปแบบของกระบวนการสร้างประกอบด้วย
Implantation Deposition Oxidation Epitaxial และ Etching |
 |
MEDICI
(2-D Device Simulation Program) เป็นโปรแกรมแบบจำลองอุปกรณ์(MEDICI) ใช้วิเคราะห์คุณสมบัติทางไฟฟ้าเช่น คำนวณหาแรงดันขีดเริ่ม กระแสเดรนอิ่มตัว กระแสเดรนรั่วไหล แรงดันพังทลาย รวมทั้งสามารถดู การกระจายของศักดาไฟฟ้า และ ค่าความกว้างของบริเวณปลอดประจุพาหะที่เราไม่สามารถวัดได้อีกด้วย โดยทั่วไป เราใช้โปรแกรม TSUPREM-4 เก็บข้อมูลของโครงสร้าง แล้วเชื่อม ต่อกับโปรแกรม MEDICI เพื่อ คำนวณหาคุณสมบัติทางไฟฟ้า |
| ตัวอย่างกราฟที่ได้จากโปรแกรม MEDICI | |
 |
|
 |
|
| การบริการ
Simulation services ให้บริการแบบจำลองกระบวนการสร้างอุปกรณ์ไมโครชิพ ด้วยโปรแกรม TSUPREM-4 Process Simulation Program คุณสมบัติทางไฟฟ้าของอุปกรณ์ที่สร้างขึ้นในระดับ 2 มิติ โดยหาคุณสมบัติทางไฟฟ้าพื้นฐานของอุปกรณ์ได้แก่ แรงดันขีดเริ่ม กระแสเดรนอิ่มตัว กระแสเดรนรั่วไหล รวมทั้งดูการกระจายของศักดาไฟฟ้า และการกระจายของสารเจือในตัวอุปกรณ์ Process and Device Simulation training เนื้อหา แนะนำ TSUPREM-4 Process Simulation Program, TMA WORKBENCH และ MEDICI Devices Simulation Program ตัวอย่างการใช้โปรแกรมแบบจำลองกระบวนการสร้าง และแบบจำลองอุปกรณ์ของ CMOS 5 ไมครอน คำอธิบายรูป ตัวอย่างกราฟที่ได้จากโปรแกรม MEDICI กราฟ Ids-Vds ของ NMOS 5 ไมครอน ภาคตัดขวางของ CMOS ที่ได้จากโปรแกรม กราฟ Ids-Vds ของ PMOS 5 ไมครอน ขอบเขต depletion region ของเกท 5 ไมครอนจากโปรแกรม MEDICI |
|
| NSTDA
|| NECTEC ||
BIOTEC || MTEC || NITC ||
SOFTWARE
PARK || GITS || ECRC || BID || SCHOOLNET ||
BCP || RDD
สงวนลิขสิทธิ์โดยศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ 112 อุทยานวิทยาศาสตร์ประเทศไทย ถนนพหลโยธิน ตำบลคลองหนึ่ง อำเภอคลองหลวง จังหวัดปทุมธานี 12120 โทร 02-564-6900 ต่อ 2346-55 E-mail :  หรือ แผนที่ |